На Екатеринбургском оптико-механическом заводе 17 июня 2026 года введён в строй новый цех, где освоен выпуск высокоточных асферических линз из особо чистого кварцевого стекла для фотолитографических сканеров. Эти линзы фокусируют эксимерный лазерный луч, проецирующий изображение микросхемы на кремниевую пластину, и от их качества напрямую зависит, насколько тонкий техпроцесс может освоить производитель чипов. До недавнего времени подобная оптика ввозилась из-за рубежа. Теперь российские предприятия смогут получать ключевой компонент для сканеров «Амур-28» и перспективного «Амура-12» из отечественного источника.
Линзы изготавливаются методом магнитореологического полирования с последующей интерферометрической аттестацией. Точность формы поверхности достигает 0,3 нанометра — это меньше диаметра атома кремния. Партия линз, выпущенная в июне, уже передана в Зеленоград для установки в серийный сканер «Амур-28», а к 2028 году завод планирует освоить линзы для систем иммерсионной литографии с числовой апертурой 1,35, позволяющей печатать структуры размером до 7 нанометров. Проект финансируется из средств Фонда развития промышленности и признан одним из приоритетных для обеспечения технологического суверенитета в микроэлектронике.
