В подмосковном Зеленограде 6 июня 2026 года состоялась торжественная церемония запуска первого полностью отечественного литографического сканера, предназначенного для серийного производства микросхем по технологическому процессу 28 нанометров. Установка, разработанная в кооперации Института физики микроструктур РАН и холдинга «Росэлектроника», получила название «Амур-28». Это событие закладывает фундамент технологической независимости страны в сфере микроэлектроники — области, критически важной для обороны, космоса, связи и финансового сектора.
До сегодняшнего дня все сканеры для фотолитографии — ключевого этапа производства чипов, на котором на кремниевую пластину наносится рисунок будущей схемы, — ввозились из-за рубежа. Наиболее передовые машины, способные работать с технологией 7 нанометров и тоньше, производит единственная в мире компания из Нидерландов, и доступ к ним ограничен экспортным контролем. Российская разработка пока оперирует более зрелым техпроцессом 28 нанометров, однако этого достаточно для абсолютного большинства применений в автомобильной электронике, промышленной автоматике, системах связи и военной технике.
Сканер «Амур-28» использует источник эксимерного лазера с длиной волны 193 нанометра, полностью произведённый на предприятии «Лазерные системы» в Санкт-Петербурге. Оптическая система из кварцевого стекла высокой чистоты, просветлённого для ультрафиолета, изготовлена на Лыткаринском заводе оптического стекла. По словам главного конструктора проекта, профессора Андрея Шипунова, установка обеспечивает разрешение до 28 нанометров с точностью совмещения слоёв не более 5 нанометров и производительностью до 120 пластин в час.
Первым заказчиком выступил завод «Микрон», который планирует к концу года выпустить первую серийную партию микроконтроллеров для автомобильной промышленности. Параллельно ведётся разработка следующего поколения сканера — «Амур-12» для техпроцесса 12 нанометров, запуск которого намечен на 2028 год. Таким образом, Россия входит в клуб стран, способных самостоятельно производить оборудование для выпуска чипов, и делает стратегический шаг к защите критической информационной инфраструктуры.
